多项选择题
A.分子泵B.扩散泵C.油回转泵D.低温泵
A.噪音大B.需要水冷挡板C.启动停止需要时间D.存在油污染
A.离子源老化B.分析部污染C.内漏D.设定参数不对
A.VG100B.ICF152C.ISO100-KD.ICF203
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