问答题
简答题
什么叫“结尖刺效应”，集成电路工艺中如何避免铝的结尖刺效应？
【参考答案】
硅可以溶解在铝中。在源/漏区，铝金属会与硅直接接触，硅会溶入铝中，而铝会扩散进入硅内形成铝尖凸物。铝的尖凸物可以穿透掺杂......
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