多项选择题
A.负电荷电子B.正电荷电子C.中性原子D.原子核
A.离子溅射沉积B.离子蚀刻C.离子镀D.离子注入
A.材料的熔点B.材料的硬度C.材料的沸点D.材料的比热容
A.极性效应B.覆盖效应C.表面粗糙度D.放电间隙
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