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问答题

简答题

磁控溅射中,磁场起什么作用?

【参考答案】

磁场虽不能对运动电荷做功,但是能改变运动方向,在磁控溅射中,靶面水平方向的磁场和法向的电场构成了互相垂直的电磁场,电子在......

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