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设计一个实验:先将一块本征半导体变成N型半导体,然后再设法使它变成P型半导体。
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13
cm
-3
,峰值在1800Å深处,峰值浓度为5×10
17
cm
-3
。假定离子注入服从对称高斯分布,你能估计出它的注入剂量是多少吗?
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