多项选择题
A.微区成分B.衍射C.平均成分D.成像
A.照明系统B.高压系统C.观察记录系统D.成像系统
A.孔径半角B.人眼的分辨率C.光的传播介质D.物镜的分辨率
A.特征X射线B.俄歇电子C.背散射电子D.二次电子
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