问答题
简答题
质量输运限制CVD和反应速度限制CVD工艺的区别？
【参考答案】
1、质量传输限制淀积速率
淀积速率受反应物传输速度限制，即不能提供足够的反应物到衬底表面，速率对温度不敏感（如......
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