多项选择题
A.晶圆表面墨点厚度超标 B.吸盘上有杂质 C.膜丝等外来物 D.磨轮上的金刚砂磨损
A.来料时晶圆表面的晶圆批号与《晶圆管制卡》不一致 B.卡物分离 C.非混合批整批中晶圆表面有不同批号的晶圆 D.同一型号不同工单号的晶圆放在一起
A.100%检验 B.返工 C.交付生产线 D.特采
A.交接班 B.停机 C.死机 D.修机
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