填空题
介电常数变化；介电材料厚度变化
部分固体介质的变间隙式电容传感器的，它既是（）因子，又是（）因子，由于 N 1（），因此该传感器是在牺牲（）的前提下，换取（）提高的。
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，它既是（）因子，又是（）因子，由于 N 1（），因此该传感器是在牺牲（）的前提下，换取（）提高的。
