简要叙述膜盒式电容气压传感器的结构原理。

【参考答案】

膜盒式电容气压传感器的感应元件为真空膜盒。当大气压力产生变化时，使真空膜盒（包括金属膜盒和单晶硅膜盒）的弹性膜片产生形变......

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