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问答题

简答题

简述任何CVD所用的反应体系,都必须满足的基本条件?

【参考答案】

(1)在沉积温度下,反应物必须有足够高的蒸气压,要保证能以适当的速度被引入反应室
(2)反应产物除了所需要的沉......

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