微型机电系统（Micro Electro Mechanical Systems，MEMS）是指集微型机构、微型传感器、微型执行器、信号处理、控制电路、接口、通讯和电源等于一体的（）或综合体。

A.微型机电器件
B.微光学器件
C.微电子器件
D.微机械器件