问答题
简答题
为何在离子注入后， 需要热处理（ Thermal Anneal）的工艺？
【参考答案】
①为恢复经离子注入后造成的芯片表面损伤；
②使注入离子扩散至适当的深度；
③使注入离子移动到适当的晶格位置。
点击查看答案
相关考题
