多项选择题
A.刻蚀速率B.刻蚀选择比C.刻蚀因子D.均匀性
A.湿法刻蚀B.溅射刻蚀C.等离子体刻蚀D.反应离子刻蚀
A.EUV曝光B.电子束光刻C.X射线光刻D.纳米压印技术
A.灵敏度B.分辨率C.抗蚀性D.黏附性
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