问答题
论述题
MEMSSi加工工艺主要分为哪两类，它们最基本的区别是什么？
【参考答案】
Si工艺 体硅微机械加工工艺（Bulkmicromaching）——用晶圆自身材料来制作MEM......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
