单项选择题

晶圆加工的基本流程顺序为（）。
（1）切片
（2）外形整理
（3）研磨
（4）倒角
（5）清洗
（6）抛光

A.（1）（2）（3）（4）（5）（6）
B.（2）（1）（4）（3）（6）（5）
C.（1）（2）（4）（3）（5）（6）
D.（2）（1）（3）（4）（6）（5）

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单项选择题

A.等离子去胶
B.溶剂去胶
C.氧化去胶
D.三氯乙烯去胶

单项选择题

下图属于什么光刻机？（）

A.接触式光刻机
B.步进扫描光刻机
C.分布重复光刻机
D.接近式光刻机

单项选择题

A.局部氧化隔离
B.PN结隔离
C.PN结-介质隔离
D.浅槽隔离

晶圆加工的基本流程顺序为（）。（1）切片（2）外形整理（3）研磨（4）倒角（5）清洗（6）抛光