单项选择题
A.工艺简单B.高温、深结C.不能独立控制结深和浓度D.横向扩散
A.无限表面源分布B.杂质总量分布C.恒定表面源分布D.表面源分布
A.杂质类型B.扩散时间C.杂质激活能D.温度
A.面扩散B.均匀扩散C.梯度扩散D.替位式扩散
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