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问答题

简答题

简述采用蒸发形成薄膜的过程包括的物理阶段。

【参考答案】

(1)采用蒸发或升华把被淀积的材料转变为气态;
(2)原子(分子)从蒸发源转移到基片上;
(3)这些......

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