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多项选择题

清洗机配备离子风枪的作用是（）。

A.消除静电
B.吹干晶圆表面的水
C.吹掉晶圆表面的硅渣
D.用于清洁清洗机

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B.8寸
C.12寸
D.4寸
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B.划片机
C.清洗机
D.手动贴片机
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