单项选择题
A.将减少B.将增加C.无变化
A.机械泵用以获得高真空,扩散泵用以获得低真空B.机械泵用以获得低真空,扩散泵用以获得低真空C.机械泵用以获得低真空,扩散泵用以获得高真空D.机械泵用以获得高真空,扩散泵用以获得高真空
A.热耦规用以测量低真空,电离规用以测量高真空B.热耦规用以测量高真空,电离规用以测量低真空C.热耦规用以测量低真空,电离规用以测量低真空D.热耦规用以测量高真空,电离规用以测量高真空
A.系统的真空度B.基片的清洁度C.实验室的温度D.基片的温度
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