问答题
简答题
简述CVD工艺的的工艺流程
【参考答案】
（1）气体或气相源材料进入反应器
（2）源材料扩散穿过边界层并接触衬底
（3）源材料吸附在衬底表面......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
相关考题
