仪表空气含尘粒径≤（）微米。

A.60℃，5.4Mpag
B.60℃，5.0Mpag
C.70℃，5.4Mpag
D.70℃，5.0Mpag

A.纯度≥99.9%，氧含量≤5ppm（vol）
B.纯度≥99.99%，氧含量≤5ppm（vol）
C.纯度≥99.9%，氧含量≤10ppm（vol）
D.纯度≥99.99%，氧含量≤10ppm（vol）

A.1.6Mpag，295℃
B.1.5Mpag，285℃
C.1.8Mpag，305℃
D.1.6Mpag，305℃