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单项选择题

等离子体增强化学汽相淀积的缩略语是（）

A.APCVD
B.LPCVD
C.PEPVD
D.LCVD

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A.APCVD
B.LPCVD
C.PECVD
D.LCVD
单项选择题
LPCVD的气压控制在（）范围。

A.10~100torr
B.1~100torr
C.0.01~1torr
D.0.001~1torr
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