问答题
简答题
什么是低压CVD和等离子CVD？各有何优点？
【参考答案】
低压CVD：气相输运和反应。低压下气体扩散系数增大，使气态反应物和副产物的质量传输速率加快，形成薄膜的反应速率增加。......
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