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多项选择题

检漏仪里标准漏孔的作用是（）。

A.灵敏度校正
B.检漏仪性能确认
C.压力确认
D.漏率检测

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C.Ashing
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RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？

A.放电不稳定
B.匹配不稳定
C.Pr 残存
D.成膜慢
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下列可适用于sputter 设备的电源都有（）。

A.RF 电源
B.DC 电源
C.MF 电源
D.EB 电源
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