多项选择题
A.薄膜成长 B.蒸发 C.薄膜沉积 D.溅射 E.以上都正确
A.薄膜沉积 B.薄膜成长 C.蒸发 D.溅射
A.二氧化硅氮化硅 B.多晶硅硅化金属 C.单晶硅多晶硅 D.铝铜 E.铝硅
A.单晶硅 B.多晶硅 C.硅化金属 D.二氧化硅 E.氮化硅
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