问答题
简答题
列出4种曝光技术，并说明那种分辨率最高，说明各种曝光技术的优缺点。
【参考答案】
1、接触式曝光：分辨率较高，可在亚微米范围内。接触时的微粒会在晶圆上产生缺陷，光刻版的寿命也会减短。
2、接近......
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