问答题
简答题
试简述LIGA技术的原理、特点及主要工艺。
【参考答案】
原理：LIGA技术的机理是由深层X射线光刻、电铸成形及塑注成形三个工艺组成。在用LIGA技术进行光刻过程中，一张预先制作......
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