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单项选择题

CIMS的两个支撑子系统是（）。

A.工程设计自动化子系统、管理信息子系统；
B.制造自动化子系统、质量保证子系统
C.计算机网络子系统、数据库子系统

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A.集中控制方式
B.主从控制方式
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A.自由度
B.工作空间
C.提取重力
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微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

a.离子束刻蚀、激光刻蚀
b.干法刻蚀、湿法刻蚀
c.溅射加工、直写加工
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