简述PECVD薄膜沉积的原理。

【参考答案】

薄膜的沉积原理包括三个基本的过程：
1）等离子体反应，是指等离子体通过与具有能量的电子、离子或者基团等粒子碰撞......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)