问答题
简答题
采用什么方法能够得到和蒸镀材料成分相同的薄膜？
【参考答案】
为获得与原材料相同成分的薄膜，当用蒸镀法制备预定成分的合金或化合物薄膜时，需对蒸发源进行改进，如采用瞬间蒸镀法和双蒸发源......
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