LIGA技术主要工艺步骤包括（）。

A.超微机械加工
B.性能稳定，可靠性高
C.能耗低、灵敏度和工作效率高
D.多功能和智能化
E.适用于大批量生产，制造成本低

A.极高的硬度、耐用度和弹性模量
B.刃口能磨得极其锋锐
C.刀刃无缺陷
D.与工件材料的抗黏结性好，化学亲和性小，摩擦系数低
E.刀口半径值极小

A.指加工精度高于0.01um
B.超精密加工是微米工艺
C.表面粗糙度在Ra0.03-0.005um
D.加工精度达到极高程度的精密加工工艺
E.表面质量达到极高程度的精密加工工艺