单项选择题
A.粘附性B.刻蚀温度C.刻蚀时间D.刻蚀槽的高度
A.特征尺寸越来越小B.晶圆尺寸越来越小C.电源电压越来越低D.时钟频率越来越高
A.特征尺寸B.器件数量C.互连线长度D.互连线层数
A.超净B.高精度C.低精度D.超纯
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