化学清洗使用反渗透清洗装置进行，装置包括一台（）箱、清洗（），（）以及配套管道、阀门和仪表，当膜组件受（）时，可以用它进行RO系统的化学清洗。

【参考答案】

清洗液；过滤器；清洗泵；污染