问答题
简答题
溅射原子的能童分布一般呈何分布，溅射原子的能量和速度具有哪些特点？
【参考答案】
溅射原子的能童分布一般呈麦克斯韦分布，溅射原子的能量和速度具有以下特点：
（1）原子序数大的溅射原子溅射逸出时......
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