多项选择题
A.光源为紫光B.使用移相掩膜技术制备的光刻版C.采取浸入式光刻方法D.驻波效应对分辨率无影响
A.蒸镀工艺的普适性更好B.溅射工艺的普适性更好C.溅射工艺薄膜质量（如粘附性、保形性等）更好D.蒸镀工艺薄膜质量（如粘附性、保形性等）更好
A.衬底放在面积大的电极上B.靶放在面积大的电极上C.衬底放在面积小的电极上D.靶放在面积小的电极上
A.射频溅射B.LPCVDC.电阻蒸镀D.PECVD
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