问答题
简答题
列出光刻工艺的十个步骤，并简述每一步的目的。
【参考答案】
①表面准备：清洁和干燥晶圆表面
②涂光刻胶：在晶圆表面均匀涂抹一薄层光刻胶
③软烘培：加热，部分蒸发......
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