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问答题

简答题

外延生长有哪些显著优点?

【参考答案】

(1)外延生长中,外延层中的杂质浓度可以方便地通过控制反应气流中的杂质含量加以调节,而不依赖于衬底中的杂质种类与掺杂水平......

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