多项选择题
A.分子型杂质B.质子型杂质C.离子型杂质D.原子型杂质
A.形状、尺寸、厚度B.导电类型C.晶向、位错、寿命D.电阻率
A.电池充电器B.抽水系统C.无线电通信系统电源D.室内电子器件
A.扩散效率高，更适于大批量生产B.产品的合格率较高C.设备复杂、操作麻烦D.扩散后硅片的均匀性、重复性和表面质量都较好
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