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全部科目 > 大学试题 > 工学 > 机械工程 > 精密加工与特种加工

名词解释

光刻加工

【参考答案】

光刻加工技术是用照相复印的方法将光刻掩模上的图形印刻在涂有光刻抗蚀剂的薄膜或基材表面,然后进行选择性腐蚀,刻蚀出规定的图......

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