问答题
简答题
研磨及抛光工艺系统组成及应用是什么？
【参考答案】
工艺构成：研磨法、研具、磨粒、加工液、加工参数、环境。
1）超精密研磨对研磨运动轨迹的要求：保证加工表面和研具......
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