问答题
简答题
描述沟道效应。列举并简要解释控制沟道效应的三种机制。
【参考答案】
当注入离子未与硅原子碰撞减速，而是穿透了晶格间隙时，就发生了沟道效应。
三种机制：
1.倾斜硅片：它......
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