问答题
简答题
简述MOS集成电路工艺中提高场开启电压的方法？
【参考答案】
①加厚场氧化层的初始厚度，并严格控制随后加工中的腐蚀量。
②在场区注入（或扩散）与衬底同型的杂质，以提高衬底表......
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