问答题
论述题
分别简述RVD和GILD的原理，它们的优缺点及应用方向。
【参考答案】
快速气相掺杂（RVD，RapidVapor-phaseDoping）利用快速热处理过程（RTP）将处在掺杂剂气氛中的硅片......
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