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多项选择题
采用二氧化硅薄膜作为栅极氧化层，是利用其具有的（）
A.高电阻率；
B.高化学稳定性；
C.低介电常数；
D.高介电强度。
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单项选择题
微电子器件对加工环境的空气洁净度有着严格的要求。我国洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度标准GB50073-2001中，100级的含义是：每立方米空气中大于等于0.1m的悬浮粒子的最大允许个数为（）
A.35；
B.100；
C.102；
D.237。
判断题
侧墙用来环绕多晶硅栅，防止更大剂量的源漏注入过于接近沟道以致可能发生源漏穿通。
判断题
离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度，因而在几乎所有应用中都优于扩散。
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