问答题
简答题
硅片关键尺寸测量的主要工具是什么？
【参考答案】
硅片关键尺寸测量的主要工具是扫描电子显微镜（SEM），它能放大10万到30万倍，这明显高于光学显微镜，用扫描电子显微镜观......
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