单项选择题
关于离子束加工,以下说法中不正确的是()。
A.溅射沉积是加速后的离子直接射向工件
B.离子源是各种设备所共有的关键部分
C.材料的溅射率与离子束的入射角有关
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单项选择题
A.溅射沉积是加速后的离子直接射向工件
B.离子源是各种设备所共有的关键部分
C.材料的溅射率与离子束的入射角有关
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