蒸发镀膜的蒸发源主要分爲那几类？（至少答两种）。

【参考答案】

蒸发镀膜的蒸发源主要分电阻蒸发源、电子束蒸发源、高频感应蒸发源，还有一些特殊蒸发源：如电弧、热壁、激光等蒸发源。