单项选择题

从安全上看，四氯化硅氢还原法.三氯氢硅氢还原法.硅烷热分解法的安全性从小到大排列的顺序为：（）

A.硅烷热分解法＜四氯化硅氢还原法＜三氯化硅氢还原法
B.四氯化硅氢还原法＜硅烷热分解法＜三氯化硅氢还原法
C.三氯化硅氢还原法＜硅烷热分解法＜四氯化硅氢还原法
D.硅烷热分解法＜三氯化硅氢还原法＜四氯化硅氢还原法

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单项选择题

A.anneal，ion implantation，RTA
B.diffusion，anneal，RTA
C.ion implantation，anneal，RTA
D.ion implantation，anneal，CVD

单项选择题

A.光刻
B.掺杂
C.刻蚀
D.金属化

单项选择题

A.sputtering-evaporation
B.evaporation-sputtering
C.oxidation-epitaxy
D.epitaxy-sputtering