填空题
半导体器件隔离的种类有：（）；（）和（）三种。P-N结隔离适合（）的器件。目前大多数CMOS器件采用（）隔离，绝缘介质场区氧化层采用（）工艺生长。
【参考答案】
P-N结隔离；介质隔离；沟槽隔离；低密度、低成本；介质；局部氧化（LOCOS）
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